电子产品用高纯石英砂SJ/T 3228.1-2016——第1部分：技术条件
中华人民共和国电子行业标准《电子产品用高纯石英砂》第1部分——技术条件
标准编号：SJ/T 3228.1-2016
标准状态：现行有效
本标准由中华人民共和国工业和信息化部2016年1月15日发布，2016年6月1是开始实施。
前言
本系列标准计划分下列部分出版：
——SJ/T 3228.1 电子产品用高纯石英砂 第1部分技术条件；
——SJ/T 3228.2 电子产品用高纯石英砂 第2部分分析方法通则；
——SJ/T 3228.3 电子产品用高纯石英砂 第3部分灼烧失量的测定；
——SJ/T 3228.4 电子产品用高纯石英砂第4部分二氧化硅的测定；
——SJ/T 3228.5 电子产品用高纯石英砂 第5部分铁的测定；
——SJ/T 3228.6 电子产品用高纯石英砂 第6部分铜的测定；
——SJ/T 3228.7 电子产品用高纯石英砂 第7部分铬的测定；
——SJ/T 3228.8 电子产品用高纯石英砂 第8部分铝的测定；
——SJ/T 3228.10 电子产品用高纯石英砂第10部分铅的测定。
本部分为第1部分。
本部分按照GB/T 1.1-2009 《标准化工作导则第1部分：标准的结构和编写》给出的规则编写。
本部分代替 SJ 3228.1-1989。
本部分与SJ 3228.1-1989相比，主要技术内容变化如下：
a) 增加了引用文件：GB/T 6682《分析实验室用水规格和试验方法》、GB/T 602《化学试剂杂质测定用标准溶液的准备》、SJ/T 10380-2012《工业用酸洗石英砂》、GB/T 32650《电感耦合等离子质谱法检测石英砂中痕量元素》、GB/T 8946 《塑料编织袋》、GB/T 8947《复合塑料编织袋》；
b) 修改了产品分级，将原来的二个等级修改为三个等级；
c) 修改了粒度范围；
d) 杂质含量要求中增加了元素铝、钙、钠、钾、锂、镁、铬、镍、硼、锰含量项目，删除了铅含量、氯含量、灼烧失重，并修改了原有杂质元素含量技术指标；
e) 增加了附录A《石墨炉原子吸收光谱法测定杂质元素含量》；
f) 调整了检验规则和标志、包装、运输、贮存的相关要求。
请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。本部分由全国半导体设备和材料标准化技术委员会（SAC/TC 203）提出并归口。本部分起草单位：工业和信息化部电子工业标准化研究院、国家硅材料深加工产品质量监督检验中心、东海县产品质量监督检验所。
本部分主要起草人：李运强、程尚栩、许振午、栾振祥、薄雷明、李建德、冯亚彬、管琪。本部分所代替标准的历次版本发布情况为：——SJ 3228.1-1989。
1 范围
本部分规定了电子产品用高纯石英砂的技术要求、检验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存等。
本部分适用于电子产品用高纯石英砂，可用于制造半导体石英器件的管、棒、块、板、片以及坩埚等器件。
2 规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅所注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。
GB/T 8946 塑料编织袋
GB/T 8947 复合塑料编织袋
GB/T 32650 电感耦合等离子质谱法检测石英砂中痕量元素
SJ/T 3328.4 电子产品用高纯石英砂第4部分二氧化硅的测定
SJ/T 3328.5 电子产品用高纯石英砂第5部分铁的测定
SJ/T 3328.6 电子产品用高纯石英砂第6部分铜的测定
SJ/T 3328.7 电子产品用高纯石英砂第7部分铬的测定
SJ/T 3328.8 电子产品用高纯石英砂第8部分铝的测定
SJ/T 3328.10 电子产品用高纯石英砂第10部分铅的测定
SJ/T 10380工业用酸洗石英砂
3 技术要求
3.1 外观
电子产品用高纯石英砂为具有一定透明度的白色颗粒，应无异色、肉眼可见的杂质。
3.2 二氧化硅含量
二氧化硅含量应符合表1规定。
表1 二氧化硅含量
| 项目 | 指标 | ||
| 一级 | 二级 | 三级 | |
| 二氧化硅 | ≥99.9991% | ≥99.9990% | ≥99.9980% |
3.3 粒度
粒径应在70μm~350μm范围内。
3.4 杂质元素含量
杂质元素含量应符合表2规定。
表2 杂质元素含量
| 杂质元素 | 允许含量 | ||
| 一级 | 二级 | 三级 | |
| 铝（Al） | ≤8.00 | ≤8.00 | ≤16.00 |
| 钙（Ca） | ≤0.50 | ≤0.60 | ≤0.80 |
| 铁（Fe） | ≤0.15 | ≤0.30 | ≤0.30 |
| 钠（Na） | ≤0.10 | ≤0.60 | ≤0.90 |
| 钾（K） | ≤0.10 | ≤0.50 | ≤0.60 |
| 锂（Li） | ≤0.30 | ≤0.50 | ≤0.90 |
| 镁（Mg） | ≤0.50 | ≤0.10 | ≤0.20 |
| 铬（Cr） | ≤0.50 | ≤0.05 | ≤0.05 |
| 镍（Ni） | ≤0.50 | ≤0.05 | ≤0.05 |
| 硼（B） | ≤0.04 | ≤0.06 | ≤0.08 |
| 锰（Mn） | ≤0.05 | ≤0.05 | ≤0.05 |
| 铜（Cu） | ≤0.02 | ≤0.03 | ≤0.05 |
4 检验方法
4.1 外观
光照度不低于300Lx，距离试样0.5m处目视检查电子工业用高纯石英砂的外观。
4.2 二氧化硅含量
二氧化硅含量按照SJ/T 3228.4的规定进行测定。
4.3 粒度
粒度按照SJ/T 10380的规定进行测定。
4.4 杂质元素含量
4.4.1 铁元素含量的测定按照SJ/T 3228.5中石墨炉原子吸收光谱法或GB/T 32650《电感耦合等离子质谱法检测石英砂中痕量元素》进行，仲裁时按照SJ/T 3228.5 中石墨炉原子吸收光谱法进行。
4.4.2 铜元素含量的测定按照SJ/T 3328.6 中石墨炉原子吸收光谱法或GB/T 32650《电感耦合等离子质谱法检测石英砂中痕量元素》进行，仲裁时按照SJ/T 3328.6中石墨炉原子吸收光谱法进行。
4.4.3 铬元素含量的测定按照SJ/T 3228.7中石墨炉原子吸收光谱法或GB/T 32650《电感耦合等离子质谱法检测石英砂中痕量元素》进行，仲裁时按照SJ/T 3228.7中石墨炉原子吸收光谱法进行。
4.4.4 铝元素含量的测定按照SJ/T 3228.8中石墨炉原子吸收光谱法或GB/T 32650《电感耦合等离子质谱法检测石英砂中痕量元素》进行，仲裁时按照SJ/T 3228.8中石墨炉原子吸收光谱法进行。
4.4.5 钙、钠、钾、锂、镁、镍、硼、锰元素含量的测定按照附录A或GB/T 32650《电感耦合等离子质谱法检测石英砂中痕量元素》进行，仲裁时按照附录A进行。
5 检验规则
5.1 检验分类
电子工业用高纯石英砂的检验分为型式检验和质量一致性检验。
5.2 型式检验
5.2.1 通则
出现下列情况之一时应进行型式检验：
a) 新产品或者产品转厂生产的试制定型鉴定；
b) 正式生产后，如原材料、工艺或设备有较大改变、可能影响产品性能时；
c) 停产6个月以上恢复生产时；
d) 出厂检验结果与上次型式检验有较大差异时；
e) 国家质量监督机构提出进行型式检验要求时；
f) 有关部门或用户提出进行型式检验的要求时。
5.2.2 检验样本
型式检验的样本在产品中随机抽取。
5.2.3 检验项目
型式检验项目包括外观、粒度、二氧化硅含量以及杂质元素含量。
5.2.4 合格判定
所有检验项目中若有一项检验结果不合格，则不予批准型式检验合格。
5.3 质量一致性检验筑
5.3.1 通则
质量一致性检验为逐批检验。
5.3.2 组批
以相同原料、相同工艺连续生产并一次提交的产品构成一个检验批，最大批量不超20000kg。
5.3.3 抽样
每批产品应在总包装单元的5%中抽样，抽样包装单元数量应不小于10个，当批量小于10个包装单元时应逐包抽样。取样适量，混匀充分，用四分法缩分，缩分再2kg，装入洁净容器内。经缩分的样品，在100℃的干燥箱中干燥30min，置于磨口瓶中保存。
5.3.4 检验项目
质量一致性检验项目包括外观、粒度、杂质元素含量。
5.4 合格判定
所有检验项目中，若有一项检验结果不合格，则判该批产晶不合格。不合格产品由供需双方协商处理。
6 标志、包装、运输和贮存
6.1 标志
产品包装上应有牢固清晰的标志，内容至少应包括：
a) 产品名称；
b) 等级规格；
c) 净质量；
d) 标准号；
e) 生产单位；
f) 厂址；
g) 生产日期；
h) 批号。
6.2 包装
6.2.1 产品应密封包装，封口应结实，防止污染。
6.2.2 应采用2层包装，内层为塑料薄膜袋，外层为塑料编织袋，塑料编织袋应符合GB/T 8946、GB/T8947的规定。
6.2.3 若用户对产品包装有特殊要求，应由供需双方协商解决。
6.3 运输
产品运输过程中，不应与污染物及其它易损物品混装，不应有剧烈的振动或撞击，应有防雨、防晒措施。
6.4 贮存
产品应在空气流通、无粉尘的仓库内储存，防止曝晒、雨淋、污染、潮湿。
