电子产品用高纯石英砂SJ/T 3228.2-2016——第2部分:分析方法通则
中华人民共和国电子行业标准《电子产品用高纯石英砂》第2部分——分析方法通则
标准编号:SJ/T 3228.2-2016
标准状态:现行有效
本标准由中华人民共和国工业和信息化部2016年1月15日发布,2016年6月1是开始实施。
前言
SJ/T 3228系列标准计划分下列部分:
——SJ/T 3228.1 电子产品用高纯石英砂 第1部分技术条件;
——SJ/T 3228.2 电子产品用高纯石英砂 第2部分分析方法通则;
——SJ/T 3228.3 电子产品用高纯石英砂 第3部分灼烧失量的测定;
——SJ/T 3228.4 电子产品用高纯石英砂 第4部分二氧化硅的测定;
——SJ/T 3228.5 电子产品用高纯石英砂 第5部分铁的测定;
——SJ/T 3228.6 电子产品用高纯石英砂 第6部分铜的测定;
——SJ/T 3228.7 电子产品用高纯石英砂 第7部分铬的测定;
——SJ/T 3228.8 电子产品用高纯石英砂 第8部分铝的测定;
——SJ/T 3228.10 电子产品用高纯石英砂 第10部分铅的测定。
本部分为第2部分。
本部分按照GB/T1.1-2009给出的规则起草。
本部分代替SJ/T 3228.2-1989。
本部分与SJ/T 3228.2-1989相比,主要技术内容变化如下:
——增加了引用文件;
——修改了分析天平称量精度、试剂配制及分析用水和试剂的纯度要求;
——修改了天平砝码定期校正要求。
请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。
本部分由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)提出并归口。
本部分起草单位:工业和信息化部电子工业标准化研究院、国家硅材料深加工产品质量监督检验中心、东海县产品质量监督检验所。
本部分主要起草人:李运强、许振午、程尚栩、栾振祥、薄雷明、李建德、冯亚彬、管琪。
本部分所代替标准的历次版本发布情况为:
——SJ/T 3228.2-1989。
1 范围
本部分规定了高纯石英砂分析方法的一般要求。
本部分适用于高纯石英砂的分析方法。
2 规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仪注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T 6682 分析实验室用水规格和试验方法
3 要求
3.1 所使用的分析天平称量准确精度应达到0.1mg。
3.2 试剂配制及分析所用的水应为超纯水,电阻事应≥l8MQ·cm,同时符合GB/T 6682中实验室用一级水的要求。
3.3 分析所用的试剂除指明外均指MOS级或电子级。
3.4 分析所用的溶液除指明溶剂外,均指水溶液。
3.5 方法中所谓“恒重”系指连续二次称重的差不超过±0.2g。
3.6 凡标准溶液的浓度,应保留四位有效数字。
天平及容量器皿等应定期校准,并在校验期内。